在芯片制造過程中，不僅需要用到光刻機(jī)、硅片等核心設(shè)備或材料，還需要用到一種特殊氣體，業(yè)內(nèi)稱之為電子特氣。

電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的各個(gè)工藝流程，參與幾乎每一個(gè)環(huán)節(jié)，對(duì)整個(gè)芯片制造來說不可或缺，有半導(dǎo)體制造的“血液”之稱。

近年來芯片國產(chǎn)化程度不斷提升，電子特氣作為關(guān)鍵領(lǐng)域，也在加快推進(jìn)國產(chǎn)化進(jìn)程。

氪氣是電子特氣家族的一員，它作為刻蝕氣體貫穿整個(gè)芯片刻蝕過程，起著清潔刻蝕表面雜質(zhì)和保護(hù)電路不被氧化的作用。

近日，由河鋼邯鋼研發(fā)生產(chǎn)的電子特氣產(chǎn)品“芯片氪”，交付高端科技客戶，質(zhì)量完全滿足客戶需求。該產(chǎn)品將作為刻蝕氣體替代進(jìn)口產(chǎn)品，用于制造IDM集成電路芯片，助力芯片國產(chǎn)化。

氪氣的純度會(huì)影響到集成電路性能等關(guān)鍵指標(biāo)，所以用于芯片制造的氪氣對(duì)純度要求極高，生產(chǎn)工藝難度大。隨著芯片制程的微縮，半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)“芯片氪”等電子特氣的純度提出了更高的要求，而這類高端電子特氣領(lǐng)域長(zhǎng)期被國外壟斷，進(jìn)口價(jià)格昂貴。

國產(chǎn)“芯片氪”等電子特氣替代進(jìn)口，可降低國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)制造成本，有助于提高國產(chǎn)芯片在全球芯片產(chǎn)業(yè)中的競(jìng)爭(zhēng)力。

河鋼邯鋼加快培育壯大戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，充分發(fā)揮省級(jí)高純特種氣體工程實(shí)驗(yàn)室作用，積極開展航天級(jí)稀有氣體研制、電子芯片用特種氣體配制及稀有氣體分離設(shè)備關(guān)鍵部件研制，不斷加大氪、氖、氙、氬、氖等特種氣體以及混合氣體的市場(chǎng)開發(fā)力度，提升氣體產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。

針對(duì)芯片制造對(duì)氣體純度和雜質(zhì)控制的極高要求，河鋼邯鋼高純特種氣體工程實(shí)驗(yàn)室技術(shù)人員，突破了電子特氣國產(chǎn)化的諸多技術(shù)瓶頸，掌握了多項(xiàng)特氣提純關(guān)鍵技術(shù)，采用自主研發(fā)的全自動(dòng)配氣裝置，配制出多種電子級(jí)混合氣，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。

此次供貨，河鋼邯鋼根據(jù)客戶工藝流程和所需刻蝕氣體的品質(zhì)需求，制定了專屬工藝方案，嚴(yán)格過程質(zhì)量控制，保證了產(chǎn)品高質(zhì)量交付，獲得客戶高度認(rèn)可。下一步，雙方還將就其他氣體產(chǎn)品開展合作。